一般清洗有化學(xué)清洗工藝和機(jī)械研磨工藝,對(duì)于制造精密圖形時(shí),大多數(shù)場(chǎng)合是把兩種清流工藝結(jié)合起來(lái)進(jìn)行表面處理。機(jī)械研磨使用拋刷的方法,拋刷材料過(guò)硬會(huì)對(duì)銅箔造成損傷,太軟又會(huì)研磨不充分。一般是用尼龍刷,必須對(duì)拋刷的長(zhǎng)短和硬度進(jìn)行仔細(xì)研究。使用兩根拋刷輥,放在傳送帶的上面,旋轉(zhuǎn)方向與皮帶傳送方向相反,但此時(shí)如果拋刷輥壓力過(guò)大,基材將受到很大的張力而被拉長(zhǎng),這是引起尺寸變化的重要原因之一。
如果銅箔表面處理不干凈,那么與抗蝕掩膜的附著力就差,這樣就會(huì)降低蝕刻工序的合格率。近來(lái)由于銅箔板質(zhì)量的提高,單面電路情況下也可以省略表面清洗工序。但1OOμm以下的精密圖形,表面清洗是必不可少的工序。
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