半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)是技術(shù)含量較高的行業(yè)，目前我國90%以上的半導(dǎo)體設(shè)備依賴進(jìn)口，尤其在高端IC設(shè)備領(lǐng)域，幾乎沒有國內(nèi)設(shè)備的聲音。因此，從其他半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域取得突破后，再“反哺”IC設(shè)備可以說是中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)最切實(shí)可行的路。

    光伏設(shè)備一枝獨(dú)秀

    近兩年光伏設(shè)備的異軍突起使之成為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展的領(lǐng)頭羊。中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會秘書長金存忠在接受《中國電子報(bào)》記者采訪時(shí)表示，由于國內(nèi)生產(chǎn)IC設(shè)備的企業(yè)不多，而且本身生產(chǎn)的量也很少，導(dǎo)致國內(nèi)IC設(shè)備在設(shè)備領(lǐng)域所占比重逐漸減小，取而代之的是太陽能光伏設(shè)備以及LCD(液晶顯示器)、LED(發(fā)光二極管)設(shè)備，這些市場的強(qiáng)勁需求帶動了國產(chǎn)設(shè)備的發(fā)展。

    中電科技集團(tuán)公司第48研究所副所長王俊朝表示，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)總體的量不大，大部分用在研發(fā)線和小型線上，而且由于國內(nèi)IC生產(chǎn)線一般都是整線引進(jìn)，因此國產(chǎn)設(shè)備要進(jìn)入IC大生產(chǎn)線難上加難。“東方不亮西方亮”，IC市場的不景氣被光伏市場的欣欣向榮所替代，國內(nèi)設(shè)備廠商迎來了快速發(fā)展甚至是超速發(fā)展的時(shí)期：國產(chǎn)太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備及硅片加工設(shè)備已經(jīng)在行業(yè)樹立起品牌美譽(yù)度。他介紹說，目前，我國光伏設(shè)備企業(yè)從硅材料生產(chǎn)、硅片加工到太陽能電池芯片的生產(chǎn)以及相應(yīng)的純水制備、環(huán)保處理、凈化工程的建設(shè)，已經(jīng)初步具備成套供應(yīng)能力，部分產(chǎn)品如擴(kuò)散爐、等離子刻蝕機(jī)、單晶爐、多晶鑄錠爐等開始少量出口?！皣a(chǎn)太陽能電池組件比國外低30%左右，很大一部分原因在于國產(chǎn)設(shè)備價(jià)格低，用國外設(shè)備建一條線的錢，可以用國內(nèi)設(shè)備建3條線。”王俊朝對國產(chǎn)設(shè)備的價(jià)格優(yōu)勢進(jìn)行了分析。

    關(guān)鍵設(shè)備突破在即

    盡管國產(chǎn)太陽能設(shè)備逐漸崛起，但其中的一些關(guān)鍵設(shè)備還有待突破。王俊朝表示，太陽能電池制造設(shè)備中全自動絲網(wǎng)印刷機(jī)是亟待攻克的難題，目前已經(jīng)有多家企業(yè)在攻關(guān)，估計(jì)最近一兩年會有方案出來；而多晶硅連續(xù)制絨設(shè)備也已經(jīng)有樣品出來，過不了多久就可以用在生產(chǎn)線上了。在多晶硅材料加工設(shè)備中多線切割機(jī)是要逾越的關(guān)卡，目前也已經(jīng)有樣機(jī)出來。這些都是值得期待的?！爸袊柲芄夥O(shè)備行業(yè)起步不晚，并且背靠中國這個(gè)產(chǎn)能最高、產(chǎn)量最大的太陽能電池市場。國產(chǎn)太陽能設(shè)備行業(yè)的崛起指日可待?！蓖蹩〕瘜ξ磥沓錆M了期待。光伏設(shè)備的發(fā)展離不開國內(nèi)市場的全面啟動，為此，王俊朝建議，應(yīng)盡早實(shí)施切實(shí)可行的“上網(wǎng)電價(jià)補(bǔ)貼法”并提高半導(dǎo)體尤其是太陽能光伏產(chǎn)品的出口退稅率；制定全面的科技創(chuàng)新鼓勵政策，選定相關(guān)行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)給予重點(diǎn)支持。

    七星華創(chuàng)副總經(jīng)理張國銘在接受記者采訪時(shí)表示，目前七星華創(chuàng)正在開發(fā)晶體硅及薄膜太陽能設(shè)備，如清洗及PECVD設(shè)備的新型號，并且為滿足國內(nèi)TFT-LCD產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，七星華創(chuàng)積極與國外廠商合作，加強(qiáng)5代、6代線設(shè)備的研發(fā)，目前，他們已經(jīng)能為客戶提供產(chǎn)品。

    半導(dǎo)體設(shè)備前景看好

    當(dāng)前，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正處于升級換代的時(shí)期，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)升級的速度也決定了相關(guān)設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展；與此同時(shí)，中國政府出臺的電子信息產(chǎn)業(yè)振興規(guī)劃也為中國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展帶來了新的希望。這樣看來，后危機(jī)時(shí)代的中國半導(dǎo)體及設(shè)備制造行業(yè)將無疑會迎來更大的挑戰(zhàn)和機(jī)遇。
    業(yè)內(nèi)人士表示，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)應(yīng)該充分利用本土企業(yè)的地域優(yōu)勢和價(jià)格優(yōu)勢，加緊縮小與國外設(shè)備的技術(shù)差距，加強(qiáng)服務(wù)意識，為國內(nèi)顧客提供量身定做的產(chǎn)品，以產(chǎn)品差異化切入市場，建立起快速反應(yīng)的服務(wù)機(jī)制，給國內(nèi)用戶以足夠的信心。

    中電科技集團(tuán)公司第45所副所長裴二章告訴記者，根據(jù)他們目前所掌握的市場情況分析，半導(dǎo)體分立器件領(lǐng)域首先走出了金融危機(jī)的影響，生產(chǎn)廠商加快了提升產(chǎn)品檔次的速度，正大幅增加設(shè)備投入，擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模，以滿足目前供不應(yīng)求的市場需要。45所正適應(yīng)市場需求，及時(shí)調(diào)整產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，加快新產(chǎn)品的開發(fā)力度，縮短中試產(chǎn)品的生產(chǎn)周期，力爭實(shí)現(xiàn)2009年的銷售目標(biāo)。

    張國銘表示，盡管國產(chǎn)設(shè)備在集成電路市場泛不起什么漣漪，但他們并沒有放棄。目前他們正在研發(fā)高端12英寸清洗及氧化設(shè)備，現(xiàn)在已經(jīng)完成樣機(jī)的內(nèi)部工藝試驗(yàn)，即將送到客戶生產(chǎn)線進(jìn)行測試。

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