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PLASMA測試技術分析

  電漿蝕刻為優(yōu)化鉆孔質量之重要流程,為了解電漿蝕刻去除孔壁殘膠能力,現(xiàn)進行如下實驗:
  實驗計劃:PLASMA實驗是針對多層板清潔孔壁的重要流程,其中重要的影響因素有:
  a.溫度 b.時間c.氣體流量d.射頻源功率四個因素
  a.對于溫度:生技部門有測試過條件,溫度達到225F時,能最好的溶膠,所以溫度就視為不變因素。
  b.時間是對整個PLASMA效果影響最大的因素,所以將其視為主要變因來進行試驗,找出最佳作業(yè)條件。
  c. 射頻源功率(RF POWER)一般為2000,對試驗效果的影響不是很大,所以也視不變因素。
  d. 氣體流量:主要氣體有三種CF4,O2和AR,常用的是CF4和O2,其中的AR主要是通過物理性的攻擊來清除表面被O2氧化產生的氧化層。
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